イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の換算式

ビーム中の総イオン数を、ビーム電流から算出する

総イオン数 (ions) = 【ビーム電流(A)】 × 【ビームを計測した時間 (s)】 / 【電子電荷量 (C)】

ページの先頭に戻る