イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の換算式

真空度の換算

1Torr=1.33×10-2Pa 1Pa=7.52×10-3Torr
 (例:1×10-6Torr=1.33×10-4Pa  1×10-4Pa=7.52×10-7Torr)

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