イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の常数

熱伝導率(W/m・K)

石英ガラス:1.4(0℃)
アルミナ:21(常温)
アルミニウム:428
鉄:467
炭素(グラファイト):80-230(0℃)
水:0.673(80℃)

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