イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の常数

イオン注入に主に用いられるマスナンバー

イオン注入に主に用いられるマスナンバー
B(ホウ素):11
C(炭素):12
Si(ケイ素):28 or 29 ※N2(28)を避けるために、29を使うことがあります...
P(リン):31
BF2:49
As(ヒ素):75
In(インジウム):115
Sb(アンチモン):121

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