イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の常数

絶縁破壊強さ(kV/mm)

アルミナ:10-16
エポキシ:16-22
ポリ塩化ビニル(軟):10-30
ポリ塩化ビニル(硬):17-50
テフロン:20
ポリエチレン:18-28
ガラス(石英):20-40

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