イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置の常数

イオン注入に主に用いられるマスナンバー

イオン注入に主に用いられるマスナンバー
B(ホウ素):11
C(炭素):12
Si(ケイ素):28 or 29 ※N2(28)を避けるために、29を使うことがあります...
P(リン):31
BF2:49
As(ヒ素):75
In(インジウム):115
Sb(アンチモン):121

1電子(1価イオン1個)の電荷量

1.6022×10-19C(クーロン)

地磁気(水平分力)

稚内:0.26146(Gauss)
浜松:0.30832(Gauss)
鹿児島:0.333058(Gauss)

絶縁破壊強さ(kV/mm)

アルミナ:10-16
エポキシ:16-22
ポリ塩化ビニル(軟):10-30
ポリ塩化ビニル(硬):17-50
テフロン:20
ポリエチレン:18-28
ガラス(石英):20-40

溶剤の沸点

エタノール:78.32℃
メタノール:64.65℃
水:100℃

熱伝導率(W/m・K)

石英ガラス:1.4(0℃)
アルミナ:21(常温)
アルミニウム:428
鉄:467
炭素(グラファイト):80-230(0℃)
水:0.673(80℃)

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