イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

加速

同義語:-    関連語:高周波加速(RF加速)、静電加速

原子/分子をイオン化した上で、電場/電界によってエネルギーを与えることを、加速という。

加速方法としては、単純に静電場によって実現する場合と、高周波(RF)による方法がある。

前者の場合は、電場を作るために、加速の開始点と終点の間に高い電圧を印加する必要があり、それを維持するために絶縁構造(空間絶縁/碍子絶縁)などが必要となり、静電加速と呼ばれる。

後者の場合は、比較的低い電圧の高周波によって、繰り返しイオンを加速するため、絶縁構造は不要である。高周波加速は、MeV(メガエレクトロンボルト)クラスのエネルギーを得るために使われる方式である。

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