イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

加速管

用語説明:加速管 / acceleration tube , acceleration column

同義語:-    関連語:加速電圧

注入を行うイオンにエネルギー(速度)を与えるためには、「加速管」と呼ばれる電界(電場)をかけられたビーム輸送空間の中に、イオン源から引き出されたイオンを通す必要がある。

「加速管」は、加速電圧と呼ばれる電圧による高電界に耐えるための絶縁物と、電界を効率よく輸送空間に発生させるための電極とで構成される。

加速電極は、通常、複数の電極で構成されることが多いが、この場合、加速電圧を分割して各電極に印加することになる。

「加速管」の両端には、イオンを加速する加速電位(電圧)がかけられるため、「加速管」の上流側のビームラインは、高い電位に保持されるので、そのビームライン一式が、絶縁支柱の上に位置することになる。

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