イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

加速電圧

用語説明:加速電圧 / acceleration voltage

同義語:-    関連語:加速管

イオン源から引出電圧によって引き出されたイオンは、引出電圧分だけのエネルギーを持っている。

このイオンに対して、注入に必要なエネルギーにまでイオンを加速するために、イオンを「加速電圧」のかかった加速管の中を通すことになる。

注入されるイオンのエネルギーは、加速電圧と引出電圧の和と、さらにイオンの価数によって決定される。
例えば、引出電圧30kV、加速電圧70kVの場合、1価イオンのエネルギーは100keVになるが、2価イオンのエネルギーは200keVになる。

加速電圧

加速電圧と引出電圧の関係

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