イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

減速モード

用語説明:減速モード / deceleration mode,decel mode

同義語:ディセルモード    関連語:減速モード電圧

低エネルギーのイオンビームでの注入に際しては、引出電圧をギリギリまで低くして対応する場合もあるが、イオンの引出量が少なくなってしまうため、引出電圧はそのままにしてイオンビームを引き出した後、減速を行って、イオンのエネルギーを所望のエネルギーまで低下させる方法が採られる。

このため、イオン源部のうち、引出電極とアークチャンバ(イオン発生部)間には引出電圧をかけるものの、大地電位とアークチャンバ(イオン発生部)の間に減速電圧(減速モード電圧)をかけることで、減速電位の分だけマイナスとなった電位を基準として、そこから引出電圧分の電位を持ったイオンを引き出した後、引出電圧と減速電圧の差の電位分だけ、イオンを減速させることになる。

減速モード

減速モード電圧と引出電圧の関係

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