イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

コリメータ

用語説明:コリメータ / collimator

同義語:パラレルレンズ pararell lens    関連語:-

スポットで輸送されてきたイオンビームをウェーハに注入するために、電場、あるいは磁場を用いて、ウェーハの幅に合わせた大きさで走査(掃引)することがある。

最近では、半導体デバイスへのイオン注入は、平行(パラレル)ビームを用いてなされることが多いが、この場合に、走査されていったん角度を持ったイオンビームを平行ビームにするために用いられるのが、コリメータである。

コリメータを通ったイオンビームは、入射した角度の大小に応じた偏向を受け、結果として、どの角度で入射したビームについても、一定の方向に平行なビームとなって出射されるよう、コリメータは設計される。

コリメータ

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