イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

ツイスト角

用語説明:ツイスト角 / twist angle

同義語:オリフラ角、ノッチ角    関連語:ウェーハツイスト wafer twist

注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、オリエンテーションフラット(オリフラ)かノッチを基準として、ウェーハを一定の角度に回転させた角度を言う。

実際の装置運用においては、ターゲットチャンバーにおいて、オリエンテーションフラット(オリフラ)かノッチを、注入するイオンビームから見て下側に配置し、これを基準として、ビームから見て、ウェーハを反時計まわりに回転させることで、ウェーハの配置を表現することが多い。

ツイスト角

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