イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

ティルト角

用語説明:ティルト角 / tilt angle

同義語:チルト角    関連語:ウェーハティルト wafer tilt

注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、ウェーハの傾きを表す。

具体的には、ウェーハ面の法線を、ウェーハ中心に立てた時、この法線とイオンビームとが交差する角度を、ティルト角という。

ティルト角

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