イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

ドーズ

用語説明:ドーズ/ dose

同義語:-    関連語:-

イオン注入を行うためのパラメータのひとつで、ウェーハに注入される単位面積あたりのイオンの個数をいう。

ウェーハに実際に注入されたイオンの総個数は、ドーズ量×ウェーハ面積で表される。

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