イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

イオン注入装置

用語説明:イオン注入装置 / ion implanter , ion implantation system

同義語:インプラ、イオン注入機    関連語:-

速度(運動エネルギー)を持ったイオンを物質に打ち込むための装置で、イオン発生するイオン源、イオンを輸送するビームライン、イオンを注入するためのエンドステーションなどで構成される。

イオン注入装置は、半導体材料の電気的特性を制御するためのプロセスに使われることが多い。通常、発生するイオンビームのビーム量及びエネルギーによって、中電流イオン注入装置、大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置に分類される。

イオン注入装置

イオン注入装置の例

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