イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

中電流イオン注入装置

用語説明:中電流イオン注入装置 / medium current ion implanter

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イオン注入装置は、設計上の特徴や、過去の発展経緯などから、中電流イオン注入装置、大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置に分類される。

中電流イオン注入装置は、主に、260keV以下のエネルギー、1E14 ions / cm2以下の中・低ドーズ量を注入するプロセスに用いられる。

中電流イオン注入装置のもうひとつの特徴は、枚葉処理のエンドステーションを備え、その回転注入機構により高精度、広範囲の注入角度(チルト角度、オリフラ角度)で注入が行えることであり、Vth制御ショートチャネル効果の抑制など、各種のチャネルエンジニアリング注入に用いられる。

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