イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

大電流イオン注入装置

用語説明:大電流イオン注入装置 / high current ion implanter

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イオン注入装置は、設計上の特徴や、過去の発展経緯などから、中電流イオン注入装置、大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置に分類される。

大電流イオン注入装置は、従来はバッチ処理方式の装置が主流であったが、近年の高精度注入への要求により、枚様式の装置も発売されつつある。最大エネルギーは80keV程度に抑えているものが多い。主として、高ドーズの注入プロセス、即ち、ソースドレーンへの注入や、ゲート電極への注入に用いられる。

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