イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

高エネルギーイオン注入装置

用語説明:高エネルギーイオン注入装置 / high energy ion implanter,high voltage ion implanter

同義語:高電圧イオン注入装置    関連語:-

イオン注入装置は、設計上の特徴や、過去の発展経緯などから、中電流イオン注入装置、大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置に分類される。

高エネルギーイオン注入装置は、250keVを超えるような高いエネルギーのイオンを注入する装置で、静電加速による装置と、高周波加速(RF加速)による装置がある。

主として、半導体デバイス構造上、深い位置への注入、いわゆるウエハ注入のプロセスに用いられる。

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