イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

イオンビーム

用語説明:イオンビーム / ion beam

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イオン源で発生させたイオンを、引出電圧で引き出し、加速電圧で加速することで、エネルギーを持ったイオンビームとすることができる。

イオンビームは、真空中を、電場(電界)によって加速又は減速され、磁場(磁界)によって曲げられながら、輸送される。

イオンビームが光と異なる点は、イオンビーム中のイオンは、それ自身で同種の電荷を持つため、イオン同士の反発が生じて、ビームは自然に発散することである。特に低エネルギーのイオンビーム輸送においてこの現象が顕著にあらわれる。

イオンビームを効率良く輸送させるための各種電極、磁極の配列(これをビーム輸送系と言う)は、レンズを用いた光の集光・散光システムになぞらえて、ビーム光学系と呼ばれる。

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