イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(基本)

引出電圧

用語説明:引出電圧 / extraction voltage

同義語:-    関連語:-

イオン源のアークチャンバで発生したイオンは、正の電場(電界)によって、アークチャンバの外に引き出される。

この電場(電界)を発生させるための電圧を引出電圧と呼び、アークチャンバとレッドボックス間の電位差がこれに相当する。

大地側では、アークチャンバに開けられたイオン引き出し用のスリットと対向する形で引き出し電極と呼ばれるスリットのある電極が配置され、引き出されたイオンは、引出電圧分のエネルギーを持ったまま、引出電極のスリットを通って取り出される。

ページの先頭に戻る