イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

RF型加速器

用語説明:RF型加速器 / radio frequency linac (linear accelerator)

同義語:高周波加速器    関連語:RFQ型加速器

高エネルギー加速器の中で、高周波を用いてイオンを加速する方式の加速器を指す。

イオン源から引き出し電圧によって加速(引出)されたイオンを、大地電位のビームラインに通し、そこに比較的低い電圧の高周波(RF)を繰り返し導入することで、イオンを加速する。

MeVオーダーのイオンエネルギーを得る装置で用いられることが多く、高周波(RF)線形加速方式と、RFQ型加速方式がある。

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