イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

アークチャンバ

用語説明:アークチャンバ / arc chamber

同義語:-    関連語:-

電気的に中性な原子又は分子を電荷を持ったイオンにするために、イオン源が用いられる。

アークチャンバはイオン源の主要部位であり、この中に蒸気・ガス化された原子を導入しつつ、アーク放電を起こすことで、イオンを得る。

アークチャンバ中では、フィラメントからの熱電子を、アーク電圧と呼ばれる電圧で加速し、これを蒸気・ガス化された原子に衝突させることで、原子から電子が奪われ、イオンが生成される。

アークチャンバにはスリット又は円形の引出孔が開いており、イオンは、引出電圧による電界によって、この引出孔から引き出される。

アークチャンバ

アークチャンバの概念図

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