イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

キャリヤガス

用語説明:キャリヤガス / carrier gas

同義語:キャリアガス    関連語:-

イオン源の中でアーク放電を安定に維持するために導入するガスを、キャリヤガスという。

キャリヤガスには、イオン化し電子を放出しやすいガスであると共に、アークチャンバを生成物で汚したりしにくいよう、Arなど、反応性の小さいガスを用いることがある。

ベーパライザ(オーブン)による固体ソースからの蒸気を用いる場合、ベーパライザの温度が上昇し安定するまでは、蒸気圧が安定しないことがあり、このような時にでもアークが立ちやすいよう、キャリヤガスを用いることがある。

目的の蒸気が安定になり、アークも安定になると、無用にアーク電流や引出電流を大きくしないためにも、今度は、キャリヤガス導入を停止することがある。

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