イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

固体蒸発源

用語説明:固体蒸発源 / solid vaporizer

同義語:ベーパライザ、オーブン    関連語:-

イオン源に導入するソースガスの発生(供給)手法のうち、固体の金属を高温で加熱する方法。

例えば、金属Asを用いてAsイオンを発生させる場合には、固体蒸発源の中のオーブンと呼ばれる「るつぼ」に同金属を入れ、ヒーターによって300℃を超える温度まで加熱すると、金属Asがある蒸気圧をもって昇華する。この昇華ガスをイオン源に導入して、イオンを発生させる。

固体の加熱方法としては、電熱ヒーターを用いる場合もあるが、ランプヒーターを用いることもある。

固体蒸発源の場合、メンテナンスをするような常温では、ソースは金属であって扱いやすい状態であることが、ひとつのメリットと言える。

逆に、蒸発源の昇温に時間を要することが、デメリットのひとつとなる。

近年では、P、Asについては、ボンベに吸蔵された低圧のPH3、AsH3ガスを用いることが少なくない。

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