イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ソースマグネット

用語説明:ソースマグネット / ion source magnet

同義語:-    関連語:-

イオン源のアークチャンバ部分に対して、磁場を導入するための磁石をいう。

アークチャンバ内でアーク放電が起こる際、発生した電子を一定の空間に閉じ込めることによって、さらなる電離を促進させるために用いられる。

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