イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ガスボックス

同義語:-    関連語:関連語:ガス導入系 gas feed system

イオンを発生させるタネとしてガスを用いる場合、各種ガスのボトルや、ボトルからのガス導入配管、減圧弁(レギュレーター)、ストップ弁(バルブ)、流量調節弁(マスフロー)などを組み合わせ、防護用のボックスに一体化させたものを、ガスボックスという。

ガスボックスには、BF3やPH3、AsH3など、危険なガスを用いることが多く、直接に負圧の局所排気管が接続される。

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