イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

アース棒

用語説明:アース捧 / earth bar , grounding bar

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イオン注入装置のメンテナンスの際、高電圧がかかる部分(イオン源や加速管よりも上流の部分、高電圧電源の出力)などに触れる前には、仮に電源がオフになっていても、帯電による高電位が存在したりするなど、万が一のことを考慮しなければならない。

そのためアース棒と呼ばれる、接地電位に接続された金属棒を用いて、危険な部位にタッチすることで、安全を確保する。

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