イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ウェーハディスク

用語説明:ウェーハディスク / wafer disk

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大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置になどに用いられるバッチ処理方式においては、大きな円形ディスクの円周に沿ってウェーハを保持させ、そのディスクを回転させることで、ウェーハにビームをまんべんなく注入させることが多いが、このディスクをウェーハディスクと言う。

回転するウェーハディスクを用いる理由は、各ウェーハに均一に注入を行い、同時に、大電流ビームを用いることによる瞬間的な熱負荷によるダメージを避けるためである。

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