イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

エレクトロンサプレッサ

用語説明:エレクトロンサプレツサ / electron suppressor,bias

同義語:バイアス    関連語:-

イオンビームの量を計測するためには、イオンビームを受けた物体がイオンから得る電荷量を、電流という形で測定する方法が一般的である。

しかし、イオンが衝突した物体からは、二次電子が発生することがあり、二次電子が物体から逃げ出すことによる電荷量の変化(電流)により、イオンビームの測定に影響が及ぶことがある。

このため、発生した二次電子が物体から逃げない(発生しても物体に戻る)ように、物体の周りに電子を乗り越えさせないような電場を設けたり、電子をトラップする磁場を設ける場合があり、これをエレクトロンサプレッサという。

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