イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

エレクトロンフラッドガン

用語説明:エレクトロンフラッドガン / electron flood gun , EFG

同義語:エレクトロンシャワー    関連語:plusma flood gun , PFG

イオン注入中のウェーハは、イオンビームによって常に正の電荷を与え続けられ、電気的に帯電させられる。(これをチャージアップという。)

チャージアップが発生すると、例えば、帯電した電荷の緩和(放電)によりレジストが破裂したり、デバイスそのものがダメージを受けることがある。

この対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給する。これをエレクトロンフラッドガンと言う。この電子の源としてプラズマを使用するものを、特にプラズマフラッドガンと言う。

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