イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ファイナルエナジーマグネット

用語説明:ファイナルエナジーマグネット / final energy magnet , FEM

同義語:-    関連語:-

エネルギーコンタミネーションを除去することを主目的として設けられるマグネットをさす。

基本的には、分析マグネットと同じ原理によるが、加速管よりもビームライン下流側に設けることで、注入位置の前でエネルギーコンタミネーションを除去する目的で用いられ、構成・配置の面でも異なる。

ファイナルエナジーマグネット

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