イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

プラズマフラットガン

用語説明:プラズマフラッドガン / plasma flood gun , PFG

同義語:-    関連語:-

チャージアップの対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給するために用いられる。

同じ目的で用いられるエレクトロンフラッドガンがフィラメントによる熱電子を用いるのに対して、プラズマフラッドガンはイオン源のようにプラズマを発生させ、そこから低エネルギーの電子だけを引き出して、中和に用いている。

プラズマフラッドガンが用いられる理由には、エレクトロンフラッドガンと比較して、電子の過剰供給が起こりにくいことがあげられる。

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