イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

プラテン

用語説明:プラテン / platen

同義語:-    関連語:-

枚葉式のイオン注入装置のエンドステーションにおいて、処理するウェーハを保持する部分をさす。

プラテンは、ウェーハを注入するための機械的な動作ができるよう、モーターユニットとセットになっていることもある。

プラテンにおけるウェーハ保持方法としては、機械的にウェーハを挟み込んで保持する方式と、静電チャックを用いて電気的に保持する方法がある。

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