イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

分析スリット

用語説明:分析スリット / resolving aperture

同義語:質量分析スリット    関連語:-

必要なイオンだけを取り出すために、引き出してエネルギーを持ったイオンを磁場の中に通すことによって質量分析を行うが、この磁場を発生させる分析マグネットの焦点の部分に、質量分析の分解能を良くするために設置するスリットをさす。

スリット幅を大きくすると、質量分析の分解能が悪くなる。

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