イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

イオン分解能

用語説明:イオン分解能 / mass resolution

同義語:-    関連語:分析マグネット、分析

イオン源で発生されたイオンビームを分析マグネットで分析する際、目的とするイオンと、他のイオンを分析しきる(分離する)能力をイオン分解能(質量分解能)という。

イオン分解能は、横軸に分析マグネットによって選別分析されたイオンの質量数、縦軸に検出された分析後のイオンビーム電流量をとり、これをスペクトル(マススペクトル)として表した場合、その特定のイオンを示すスペクトルピークの半値全幅(ΔM)と、ピーク位置(M)の比(M/ΔM)で表される。

例えば、分解能が100というのは、質量数100ビームと質量数101ビーム幅および分析スリットの幅が同じとした時に、質量数100ビームはすべてスリットを通り、101ビームはスリットの端に位置する状態を示している。

イオン分解能

イオン分解能の算出

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