イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

エネルギーコンタミネーション

用語説明:エネルギーコンタミネーション / energy contamination

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想定している注入エネルギー以外のイオンが注入されると、デバイス特性に影響を及ぼすことがあるが、これをエネルギーコンタミネーション(エネルギーコンタミ)と呼ぶ。

エネルギーコンタミネーションの発生は、目的とするエネルギーへイオンを加速/減速する前に、ビームライン中の残留ガスとイオンが衝突することにより、荷電交換によって中性化され、加速/減速を受けないままとなる場合や、同様の理由でイオンがその価数を増加又は減少させたり、分子イオンが解離したりして、目的としないエネルギーに加速(又は減速)されてしまう場合などがある。

この対策として、加速/減速した後にエネルギー分析を行うなどの方法がある。

エネルギーコンタミネーション

分子イオンによるエネルギーコンタミネーション発生例

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