イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

クロスコンタミネーション

用語説明:クロスコンタミネーション / cross contamination

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想定している以外のイオンが注入されると、デバイス特性に影響を及ぼすことがあるが、この中で、イオン注入装置内部の構成材料に起因するコンタミネーションを、クロスコンタミネーションという。

例えば、実施中のプロセスの前に使用していたイオン種が、何らかの理由によりウェーハに注入(あるいは付着)されたりする場合があげられる。

クロスコンタミが発生する理由には、例えば、プラテン周辺でビームがヒットする部分から、ビームによるスパッタリングによってコンタミネーションがウェーハに付着する例などがある。

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