イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

磁場スキャン

用語説明:磁場スキャン / magnetic scan

同義語:磁場スイープ    関連語:-

スポットで輸送されてきたイオンビームを、注入するウェーハの大きさに応じて走査(掃引、スキャン、スイープ)するために、磁場を用いる方法をさす。

磁場中を運動するイオンに作用するローレンツ力(フレミングの左手の法則の向きに作用)を用いて、イオンビームを走査する。

電場を用いた静電スキャンと比較して、イオンビームと電子が分離されにくい特性があり、イオンビームの発散の要因となる空間電荷効果の観点では有利となるため、低エネルギー・大電流のビーム走査に適している。

また、イオンビームが中性化した中性粒子の注入を避けるため、磁場が0の領域を注入に用いず、オフセットをかけた磁場を用いる場合もある。

磁場スキャン

電子が失われにくい磁場スキャン

ページの先頭に戻る