イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

純水冷却

用語説明:純水冷却 / deionized water cooling(cooling by deionized water)

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イオン注入装置の加速電圧、引出電圧など、高い電圧(電位)の上に設置されている機器に用いられる冷却水を大地側から供給する場合、電気伝導性を持つ普通の液体を用いることはできない。

このとき、その絶縁性の良さによって、純水の冷却水を用いることがあり、これを純水冷却方式と呼ぶ。

冷却に用いられる純水は、イオン交換樹脂を配した冷却水配管の中を循環させられることで、高い絶縁度を維持される。

この他、電流を計測するファラデー部の冷却などにも絶縁度が求められ、このような部位においても用いられる。

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