イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

スキャンビーム電流

用語説明:スキャンビーム電流 / scanned beam current

同義語:-    関連語:スイープビーム電流

イオンビームを走査(掃引、スキャン、スイープ)して注入する場合のビーム電流をいう。

スポットのイオンビームの計測と異なり、一定周期でスキャンされるビームを測定するため、スキャンビームを完全に受けられる大きなファラデーを用いない時には、ファラデーにビームが入射した時だけにビームが計測され、周期的な計測波形が表れる。

スキャンビームを実際に計測した真の物理電流量は、スポットビーム電流量と比較して非常に小さな値となるので、スポットビーム電流量に換算した値に変換(計算)して扱われることがある。

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