イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

静電スキャン

用語説明:静電スキャン / electrostatic scan

同義語:-    関連語:-

スポットで輸送されてきたイオンビームを、注入するウェーハの大きさに応じて走査(掃引、スキャン)するために、電場を用いる方法をさす。

イオンビームが中性化した中性粒子の注入をさけるため、電場が0の領域を注入に用いず、オフセットをかけた電場を用いる場合もある。

ページの先頭に戻る