イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ハイブリッドスキャン

用語説明:ハイブリッドスキャン / hybrid scan

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ウェーハの面積全域にイオン注入を行うために行うスキャンについて、片方向をイオンビームのスキャン(静電スキャン、磁場スイープ(スキャン))で行い、別な一方を機械的なスキャン(メカニカルスキャン)を用いて行う方式を、ハイブリッドスキャンと呼ぶ。

ハイブリッドスキャン

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