イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

パラレルビーム

用語説明:パラレルビーム / parallel beam

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イオン注入を行う際、ウェーハ上の全ての位置において、ウェーハに対して一定の角度でイオン注入が行えるよう、平行なイオンビーム(パラレルビーム)が用いられる。

パラレルビームを発生させる方法としては、電場もしくは磁場スキャンとコリメータを組み合わせる方法などがあり、最近の中電流イオン注入装置では、主流となっている。

また、パラレルビームを用いず、スキャンしたビームをそのまま用いて注入する方式をアンギュラースキャン(角度スキャン)という。

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