イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ビームエネルギー

用語説明:ビームエネルギー / beam energy , ion energy

同義語:イオンエネルギー    関連語:-

イオン注入を行う際の注入条件のひとつで、イオンビームのエネルギーを指す。

イオンビームのエネルギーは、実際にイオン注入する注入深さに応じて決められるため、このパラメータは基本的なパラメータとなる。

ビームエネルギーは、キロエレクトロンボルト(keV)、メガエレクロロンボルト(MeV)などの単位で表される。

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