イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ビーム集束系

用語説明:ビーム集束系 / beam focusing system

同義語:-    関連語:-

イオンを輸送する系で、イオンビームを集束させるために用いられる。光学的なモデルにならって、レンズと呼ばれることもある。

ビーム集束系には、静電電極レンズ、磁界レンズ、静電4重極レンズ、磁界4重極レンズなどがある。

また、同様の効果を狙って、分析マグネット内の磁極構造によって集束効果を与えるような磁場分布を発生させる例(index magnet)や、加速管の中に集束効果を及ぼす電位分布を発生させるような電極(フォーカス電極)を配する例もある。

ビーム集束系

フォーカス電極の概念図

ビーム集束系

Index Magnetの概念図

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