イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ビーム電流量

用語説明:ビーム電流量 / beam current , ion current

同義語:イオン電流量    関連語:-

イオン注入に用いられるイオンビームを計測するために、一般的に、イオンが持つ電荷量を、ビーム電流量(イオン電流量)という形で計測する。

ビーム電流量の計測は、イオン注入をされるウェーハに直接的に電流測定系を接続して行う場合と、ファラデーと呼ばれるカップ状の部位に電流測定系を接続して行う場合がある。

ビーム電流量は、イオンビーム中のイオンの量と、イオンが持つ電荷量(価数)で決まり、価数を考慮する場合には、価数で電流量を割った上で、pA(パーティクルアンペア)として、特に区別して扱うことがある。 (これに対して、価数を考慮せず、単純に総電荷量から電流量を表す場合は、eA(エレクトリックアンペア)という単位を用いる。)

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