イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

ファラデー

用語説明:ファラデー / Faraday , Faraday system

同義語:ファラデー系    関連語:-

イオン注入に用いられるビーム電流量を計測するために、電流カウント用の電気回路を接続したファラデー系(ファラデーカップ)が用いられる。

ファラデーカップには、放出される二次電子を跳ね返すなど、イオンビーム以外の荷電粒子をファラデーカップ内に出入りさせないことで、イオンビームの計測に誤差を生じさせないように、サプレッサーが設けられる。

ファラデー系は、ビーム電流量の絶対値を測定するだけでなく、スキャン(スイープ)されたビーム電流の分布を確認したり、イオンビームの形状を測定するためにも用いられ、この時は、複数のファラデーカップを並べたような多点ファラデーが用いられる。

ファラデー

ファラデーの概念図

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