イオン注入ディクショナリー

イオン注入装置用語(応用)

メカニカルスキャン

用語説明:メカニカルスキヤン / mechanical scan

同義語:-    関連語:-

イオンビームをウェーハ上に均一に注入するために、ウェーハを保持したプラテンを機械的にスキャンする方式をさす。

メカニカルスキャンとビームスキャン(スイープ)を一軸ずつ採用するハイブリッドスキャン方式や、完全にメカニカルスキャンのみを用いる方式もある。

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