■ ローテーションユニット ・ シールド V1バルブ後方SAM入口はイオン源直後なので、イオンビームの副生成物が堆積しやすいものです。シールドを取り付けることで、チャンバーに直接副生成物が付着しません。シールドのローテーション運用でメンテナンスできます。 ・ ファラデーユニット ファラデーは1装置内に5箇所あり、ビーム計測している重要部品です。スペアのファラデーと交換することで、メンテナンス時間を短時間できます。 ・ ポール マグネット内のポールは12種類あり、イオンビーム軌道系の重要部品です。ビーム発生による堆積蒸着物を定期点検で取り除く必要があり、この清掃作業に約3-6時間/PC程度費やします。ローテーション部材として予め御購入運用頂きますと、交換作業時間のみで装置を生産寄与できます。 ・ ライナー マグネット内のライナーは13種類あり、ビームによるチャンバーの汚れ防止機能と、チャンバーへの損傷防止機能を果たしています。ライナーに付着した蒸着物は定期点検で取り除く必要があり、清掃作業では約2-5時間/PC程度費やします。ローテーション部材として予め御購入、運用頂きますと、交換作業時間のみで生産寄与できます。 ・ 大気搬送ロボット 大気搬送ロボットを御購入頂くことで、メンテナンス時のO/Hグレードを選択頂けます。弊社装置を低コストで御利用頂く場合、予備機の購入を御検討お願い致します。 ・ 制御コントローラーバックアップユニット マンマシン　ビームコントローラー　注入コントローラー　データロガなど、重要ユニットのバックアップユニットがあれば、いざと言うとき交換するだけで、システムダウンさせるとなく即時に生産継続させることができます。ダウンタイムを考慮すれば、大変な費用代価がございます。 ▲ページ先頭へ ■ 治具 ・ 静電チャックプラテンメンテナンス用保護カバー 静電チャックプラテンの周囲でメンテナンスする場合、この保護カバーをメンテナンス前に静電チャックプラテンに取り付けることで、破損などのトラブルから守ることができます。 ・ 加速管昇降搬送台車 加速管のメンテナンスは装置の放電、耐圧対策のために不可欠です。本加速管昇降搬送台車を使用することで、高価で重量物である加速管を安全に短時間で昇降、搬送することが可能となります。この専用台車は、メンテナンス時間の短縮と安全確保、及び人件費の節約に貢献します。本品はイオン源ハウジング搬出台車としても兼用しています。 ・ 加速管収納箱 クリーンルーム内に搬入、保管できるクリーンな素材でできた収納箱です。本品は加速管が簡単に収納できるよう分割構造となっております。予備の加速管と交換後、弊社へ再生御支給頂く際にもそのまま、運送業者に手渡せるように製作しております。他にもファラデー収納箱等多種ございますのでお問い合わせ下さい。 ・ クライオポンプ脱着治具 クライオポンプヘッドは、定期的にメンテナンスが必要です。その際は、通常ローテーション処置を実施されていますが、ポンプヘッドを脱着する場合は重量物作業となり、安全確保が必要です。脱着治具を使用することで、交換作業が簡単に短時間で処置することが可能となりました。 ・ グリス注入治具 E/S駆動部には定期的にグリスを注入して頂いております。簡単にかつ正確にグリス注入できる治具をご使用下さい。 ▲ページ先頭へ

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