■ 生産性向上 1. BLLイオン源搭載改造 BLLイオン源(BERNAS LONG LIFE IONSOURCE)というタイプがございます。本イオン源をご採用頂くことで、メンテナンス周期を従来品に比較して130%程度まで延ばすことができます。本改造は、比較的短期間にて実施できます。 (本改造はSDSボンベ搭載仕様にて、効果が確認できております。) 2. BEARイオン源搭載改造 BEARイオン源(BERNAS-TYPE　ELECTRON ACTIVE REFLECTION)は、イオン源メンテナンス周期を従来品に比較して200%程度まで延ばす効果が期待できます。本イオン源への改造時間は比較的かかりますが、装置のダウンタイムは大幅に減少し、生産性向上に貢献できるものです。 (本改造はSDSボンベ搭載仕様にて、効果が確認できております。) 3. スキップモード追加 マンマシンに、イオン種、価数、エネルギー、ビーム電流状態を確認させるソフトを追加改造することで、ビームプロファイル時間とチェックビーム時間を短縮化させることができます。 4. ウエハ引き剥がしマクロソフト追加改造 ウエハ離脱過程で、弾性エネルギーの緩和・解放が急激なものにならないマクロソフトがございます。本改造の相乗効果として裏面パーティクルが低減した御報告も頂いております。 5. イオン源サプレッションフィードスルー寿命延長 EXCEED2000Aにおけるイオン源サプレッションフィードスルー用ナットに改良を加えることにより、フィードスルーの汚れを軽減し、使用期間を延ばします。 （BEARイオン源搭載装置は対象外です。） ▲ページ先頭へ ■ 生産計画の安定化 スイープ立上 ビームセットアップにスイープ立上がございます。ビームコントローラーソフトBC2000と併せてバージョンアップ頂くことで更なる生産計画安定化に貢献できます。 ▲ページ先頭へ ■ チャージアップ低減対策(製品の歩留向上) PFG搭載 PFGを搭載することで、高ドーズ注入やレジスト開口率が極度に少ない場合に発生する、デバイス破壊現象を抑制する効果が確認できています。チャージアップに対する注入均一性悪化の改善に推奨致します。 ▲ページ先頭へ ■ 装置機能向上拡張性up 1. 特殊イオン対応 Inイオン　Sbイオン対応 In又はSbイオンをデバイスに注入したい場合、制御、オーブン、イオン源周りを改造することで、対応可能となります。(InとSbはそれぞれ専用オーブンがございます。) 2. 装置監視強化(リモートモニタ機能) クリーンルーム内で使用しているEXCEED2000AのM/M画面を管理事務所でモニターさせる機能です。 事務所でモニター画面を見ながら、クリーンルーム内のオペレート状況が確認できるのでオペレータからの問い合わせに対して対応しやすくなります。 クリーンルーム 内装置画面 　事務所での 　モニター画面 3. WINDOWS化 マンマシンシステムをWINDOWS化することによって、メインメモリの制限条件から開放され、いろいろなシステムアップが可能となります。これで、EXCEED2000Aはさらに高機能化し、益々貢献できる装置となります。新たにWINDOWS化することで、省エネ対策として効果的なスリープ機能や、リワーク機能、ウエハ指定処理、単独立上機能といった特殊機能が搭載可能となります。 ▲ページ先頭へ

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